Vakuové plazmové procesy

1. Mikrovlnný (MW) generátor plazmatu

Sestava 1A

• MW generátor – hlava (MWG-850-H)
• pulzní MW generátor s nastavitelným signálem (MWG-850-AS)
• volitelné příslušenství – preregulátor 300 V (DC) (PRG-300-DC)

Sestava 1B

• MW generátor – hlava (MWG-850-H)
• pulzní MW generátor se signálem odvozeným od sítě 50 Hz (MWG-850-50) (low-cost model)